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為了更好地支持微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)Top-Down設(shè)計(jì)流程,針對(duì)MEMS仿真中的多能量域與非線性特點(diǎn),采用鍵合圖場(chǎng)元件與結(jié)型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了一個(gè)集中參數(shù)表達(dá)的MEMS鍵合圖仿真元件庫(kù),同時(shí)基于該元件庫(kù)提出了一種MEMS動(dòng)態(tài)系統(tǒng)建模與仿真方法.采用參數(shù)化仿真模型與結(jié)構(gòu)化體系構(gòu)建的元件庫(kù),為MEMS設(shè)計(jì)流程中的概念設(shè)計(jì)階段與系統(tǒng)級(jí)設(shè)計(jì)階段的快速建模與仿真提供了方便,同時(shí)元件庫(kù)內(nèi)的所有元件均與MEMS器件級(jí)設(shè)計(jì)中的結(jié)構(gòu)特征具有映射關(guān)系,這為用戶需求空間!功能原理空間!結(jié)構(gòu)空間之間的設(shè)計(jì)空間映射提供了方便.通過一個(gè)靜電間隙執(zhí)行器的系統(tǒng)建模過程與仿真結(jié)果,驗(yàn)證了利用該元件庫(kù)進(jìn)行建模與仿真的有效性.
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