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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>晶體生長參數的檢測與優化

晶體生長參數的檢測與優化

2010-03-01 | rar | 333 | 次下載 | 3積分

資料介紹

為了獲得優質的碲鋅鎘單晶體,采用工控機和組態王6?53開發了一種晶體生長參數檢測優化系統.實現對晶體生長爐內各個溫區的溫度、籽晶桿的旋轉方式及各個時段的旋轉速度、布里奇垂直下降速度、坩堝位置及溫度等參數的實時檢測、記錄和存儲.根據檢測數據可對晶體生長質量及生長缺陷做出分析,為改進晶體生長方案、提高晶體生長質量和優化控制參數提供可靠的依據.
關鍵詞:晶體生長;參數檢測;參數優化;組態王6?53
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