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標(biāo)簽 > 光刻膠
光刻膠(Photoresist)又稱光致抗蝕劑,是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹脂、增感劑和溶劑3種主要成分組成的對(duì)光敏感的混合液體。
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半導(dǎo)體材料介紹 | 光刻膠及生產(chǎn)工藝重點(diǎn)企業(yè)
光刻膠(Photoresist)又稱光致抗蝕劑,是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹脂、增...
2025-03-18 標(biāo)簽:半導(dǎo)體材料電子束光刻膠 784 0
利用彩色光刻膠的光學(xué)菲涅爾波帶片平面透鏡設(shè)計(jì)
光學(xué)操控技術(shù)已成為諸多應(yīng)用領(lǐng)域中的有力工具,它的蓬勃發(fā)展也使得學(xué)界對(duì)光學(xué)器件小型化的需求日益增長。因此,以超表面和衍射光學(xué)元件為代表的平面透鏡技術(shù)由于其...
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展,晶圓級(jí)封裝(Wafer Level Packaging, WLP)作為一種先進(jìn)的封裝技術(shù),正逐漸在集成電路封裝領(lǐng)域占據(jù)主導(dǎo)地位...
刻蝕工藝評(píng)價(jià)的工藝參數(shù)以及如何做好刻蝕工藝
在本篇文章中,我們主要介紹刻蝕工藝評(píng)價(jià)的工藝參數(shù)以及如何做好刻蝕工藝。 一、刻蝕工藝質(zhì)量評(píng)價(jià) 1)刻蝕速率 刻蝕速率是指在蝕刻過程中被去...
光刻技術(shù)是現(xiàn)代微電子和納米技術(shù)的研發(fā)中的關(guān)鍵一環(huán),而光刻膠,又是光刻技術(shù)中的關(guān)鍵組成部分。隨著技術(shù)的發(fā)展,對(duì)微小、精密的結(jié)構(gòu)的需求日益增強(qiáng),光刻膠的需求...
引言 在半導(dǎo)體制造與微納加工行業(yè),光刻膠剝離液的使用量龐大。傳統(tǒng)剝離液存在環(huán)境污染、資源消耗等問題,可再生光刻膠剝離液憑借環(huán)保與可持續(xù)優(yōu)勢(shì)成為研究熱點(diǎn)。...
光刻膠產(chǎn)業(yè)國內(nèi)發(fā)展現(xiàn)狀
如果說最終制造出來的芯片是一道美食,那么光刻膠就是最初的重要原材料之一,而且是那種看起來可能不起眼,但卻能決定一道菜味道的關(guān)鍵輔料。 光刻膠(photo...
2025-06-04 標(biāo)簽:光刻膠 72 0
引言 在半導(dǎo)體制造與微納加工領(lǐng)域,光刻膠剝離液是光刻膠剝離環(huán)節(jié)的核心材料,其性能優(yōu)劣直接影響光刻膠去除效果與基片質(zhì)量。同時(shí),精準(zhǔn)測量光刻圖形對(duì)把控工藝質(zhì)...
引言 在半導(dǎo)體制造、微納加工等領(lǐng)域,光刻膠剝離是光刻工藝的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一,直接影響后續(xù)工藝的進(jìn)行和最終產(chǎn)品的質(zhì)量。而對(duì)光刻圖形的精確測量,能夠有效監(jiān)控光刻...
勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速對(duì)微流控芯片精度的影響
微流控芯片制造過程中,勻膠是關(guān)鍵步驟之一,而勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速會(huì)在多個(gè)方面對(duì)微流控芯片的精度產(chǎn)生影響: 對(duì)光刻膠厚度的影響 勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速與光刻膠厚度成反比關(guān)系。旋...
勻膠機(jī)的基本原理和工作方式 勻膠機(jī)是一種利用離心力原理,將膠液均勻涂覆在基片上的設(shè)備。其基本工作原理是通過程序調(diào)控旋轉(zhuǎn)速度來改變離心力大小,并利用滴膠裝...
日前,廈門恒坤新材料科技股份有限公司(下稱“恒坤新材”)科創(chuàng)板IPO獲受理。該公司擬發(fā)行6739.7940萬新股,融資12.00億元,用于集成電路前驅(qū)體...
2025-01-07 標(biāo)簽:光刻膠 425 0
一、烘膠技術(shù)在微流控中的作用 提高光刻膠穩(wěn)定性 在 微流控芯片 制作過程中,光刻膠經(jīng)過顯影后,進(jìn)行烘膠(堅(jiān)膜)能使光刻膠結(jié)構(gòu)更穩(wěn)定。例如在后續(xù)進(jìn)行干法刻...
隨著半導(dǎo)體器件的應(yīng)用范圍越來越廣,晶圓制造技術(shù)也得到了快速發(fā)展。其中,光刻技術(shù)在晶圓制造過程中的地位尤為重要。光刻膠是光刻工藝中必不可少的材料,其質(zhì)量直...
2025-01-03 標(biāo)簽:光刻膠 569 0
光刻膠成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵材料
光刻膠是半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的一種重要材料,在整個(gè)電子元器件加工產(chǎn)業(yè)有著舉足輕重的地位。 它主要由感光樹脂、增感劑和溶劑等成分組成。其中,感光樹脂決定了光刻...
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