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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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目前應用最廣泛的麥克風類型是微機電系統(MEMS)電容式麥克風,其主要結構為電容器結構,由背極板、振膜以及背極板和振膜之間的空氣域組成。
在拯救摩爾定律的道路上,人們挖盡心思。從設計角度出發,SoC將系統所需的組件高度集成到一塊芯片上。從封裝立場看,SiP也踩著七彩祥云回到了人們視野面前。
過去30年來,MEMS開關一直被認為是性能有限的機電繼電器的出色替代器件,因為它易于使用,尺寸很小,能夠以極小的損耗可靠地傳送0 Hz/dc至數百GHz...
基于ADI的MEMS加速度計關鍵參數和特性,選出最適合你的MEMS加速度計
最新MEMS電容式加速度計應用于傳統上由壓電加速度計和其他傳感器主導的應用領域。新一代MEMS加速度計可為CBM、結構健康監控(SHM)、資產健康監控(...
MEMS陀螺儀也稱電子式陀螺儀,就是一塊芯片。 Iphone 4上的陀螺儀就是這種,主要作用是在GPS沒有信號時,通過陀螺儀的作用仍然能夠繼續精確導航。
MEMS加速度計和MEMS陀螺儀區別 常見MEMS加速度傳感器介紹
最大的區別就是:工作原理和應用的區別(具體概念看下百科),前者是利用加速度,后者是利用慣性;前者是用在測斜調平,后者是知道通過知道角速率,可以知道物體的...
為應用選擇最合適的加速度計可能并不容易,因為來自不同制造商的數據手冊可能大相徑庭,讓人難以確定最為重要的技術指標是什么。
慣性MEMS三維集成TSV互連技術通過提供垂直貫穿慣性MEMS芯片或MEMS專用集成電路IC芯片的TSV互連為兩者層疊式立體化集成提供了便利。
在物聯網市場的帶動下,傳感器產品國產化需求不斷增大,MEMS傳感器產品正在被越來越廣泛的應用。本文將介紹MEMS的傳感器種類以及國內外MEMS運動傳感器...
加速度傳感器有兩種:一種是角加速度傳感器,是由陀螺儀改進過來的。另一種就是線加速度傳感器。它也可以按測量軸分為單軸、雙軸和三軸加速度傳感器。
子理論的創立是 20 世紀最輝煌的成就之一 ,它揭示了微觀領域物質的結構 、性質和運動規律,把人們的視角從宏觀領域引入到微觀系統 。一系列區別于經典系統...
“傾角傳感器”顧名思義,就是測量傾斜角度的一種角度傳感器。傾角傳感器應用場所極多,隨著MEMS技術的發展,傾角傳感器得到越來越廣泛的應用。適合應用于工廠...
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