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微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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全部技術資訊資料帖子視頻產(chǎn)品方案企業(yè) 數(shù)據(jù)手冊

mems技術

哪些半導體工藝、細分市場以及激光器類型，將驅(qū)動激光設備市場增長？

半導體產(chǎn)業(yè)的激光應用越來越廣泛且多樣化。多種激光技術已經(jīng)整合進入許多重要的半導體工藝中。

2017-10-16 標簽：mems 激光器 9283 0

MEMS壓電超聲換能器CMUT&PMUT以及生產(chǎn)工藝

聲波：物體振動時激勵著它周圍的空氣質(zhì)點振動，由于空氣具有可壓縮性，在質(zhì)點的相互作用下，振動物體四周的空氣就交替地產(chǎn)生壓縮與膨脹，并且逐漸向外傳播，從而形成聲波。

2023-07-08 標簽：mems 超聲波換能器 9244 0

兩款RF MEMS開關設計固有的“逆天”性能

其實，我們身邊不乏這樣的“黃金芯片”，ADI 發(fā)布的 RF MEMS 開關再次將黃金的優(yōu)良金屬性能在芯片中的應用發(fā)揮到極致。我們不妨來看看這些黃金造的芯...

2018-04-20 標簽：adi MEMS RF 9012 0

基于MAX9814駐極體麥克風放大器的音頻包絡生成電路

振蕩信號的“包絡”是一條平滑的曲線，概述了其極端情況。我們可以使用這樣的包絡來幫助我們控制音頻反應產(chǎn)物。

2021-05-20 標簽：放大器 mems 麥克風 8969 0

干法刻蝕與濕法刻蝕各有什么利弊？

在半導體制造中，刻蝕工序是必不可少的環(huán)節(jié)。而刻蝕又可以分為干法刻蝕與濕法刻蝕，這兩種技術各有優(yōu)勢，也各有一定的局限性，理解它們之間的差異是至關重要的。

2023-09-26 標簽：mems 晶圓半導體制造 8946 1

超小型MEMS原子鐘誕生，用于智能手機、傳感器網(wǎng)絡和機器人控制系統(tǒng)

據(jù)報道，日本國家信息與通信研究院（NICT）與東北大學和東京工業(yè)大學展開合作，并成立壓電材料相關研究小組。近期，該研究小組成功開發(fā)了一款超小型原子鐘系統(tǒng)...

2018-02-01 標簽：傳感器智能手機機器人 8938 0

利用黃金，打造的芯片的極限性能！

許多應用需要能在125℃以上環(huán)境下工作的信號處理解決方案，但對于采用標準設計的集成電路其最高工作溫度通常僅規(guī)定為125℃。無論是在地下一英里處操縱油鉆還...

2018-04-12 標簽：芯片驅(qū)動器 MEMS 8862 0

意法半導體欲投30億美元建設兩座300mm（12英寸）Fab

據(jù)麥姆斯咨詢消息，意法半導體將投入超過30億美元建設兩座300mm（12英寸）Fab。如果屬實，這將成為意法半導體“大圣歸來”之路上的驚人一瞥。到目前為...

2017-10-17 標簽：mems 意法半導體 8822 0

基于MEMS六軸傳感器的可穿戴運動監(jiān)測系統(tǒng)設計

文中提出了一種新的可穿戴系統(tǒng)。該系統(tǒng)基于MEMS 六軸傳感器，通過采集物體在運動過程中產(chǎn)生的以六軸傳感器為校準點的三軸加速度和三軸角速度，通過藍牙4.0...

2016-10-19 標簽：MEMS 陀螺儀六軸傳感器 8808 0

MEMS陀螺儀的工作原理詳細說明

陀螺儀的內(nèi)部原理是這樣的：對固定指施加電壓，并交替改變電壓，讓一個質(zhì)量塊做振蕩式來回運動，當旋轉(zhuǎn)時，會產(chǎn)生科里奧利加速度，此時就可以對其進行測量;這有點...

2021-01-03 標簽：MEMS GPS 陀螺儀 8804 0

基于洛倫茲力的MEMS磁傳感器設計及制作

為了獲得高性能的MEMS磁傳感器，首先要根據(jù)器件的應用對象對器件進行設計，由此確定器件的結(jié)構(gòu)、使用的材料、應用的工作原理和感應技術等。MEMS設計人員可...

2018-04-11 標簽：mems 磁傳感器 8801 0

全球首款7軸運動組合傳感器ICM-20789

InvenSense這款7軸運動傳感器ICM-20789將InvenSense領先的6軸（3軸加速度計+3軸陀螺儀）MEMS運動傳感器和其世界級氣壓傳感...

2017-10-16 標簽：傳感器 mems 8725 0

國內(nèi)和國際MEMS晶圓級測試技術對比分析

晶圓級測試技術應用于MEMS產(chǎn)品開發(fā)全周期的3個階段：（1）產(chǎn)品研發(fā)（R&D）階段：用以驗證器件工作和生產(chǎn)的可行性，獲得早期器件特征。（2）產(chǎn)品試量產(chǎn)階...

2019-01-01 標簽：mems 晶圓 MEMS器件 8700 0

干貨：有關MEMS的最詳細介紹

雖然大部分人對于MEMS（Microelectromechanical systems，微機電系統(tǒng)/微機械/微系統(tǒng)）還是感到很陌生，但是其實MEMS在...

2016-06-08 標簽：MEMS 麥克風 MEMS麥克風 8697 0

基本平臺穩(wěn)定系統(tǒng)中MEMS IMU頻率響應分析

無人飛行器安裝的監(jiān)控設備、海上微波接收機、車輛安裝的紅外成像系統(tǒng)傳感器以及其他儀器系統(tǒng)都需要具有穩(wěn)定的平臺，

2018-03-01 標簽：MEMS 加速度計 8612 0

主流的MEMS器件原理解析

近幾年，智能手機中的壓力傳感器也逐漸成為標配，主要用來測量大氣壓力。測量大氣壓的目的，是為了通過不同高度的氣壓，來計算海拔高度，同GPS定位信號配合，實...

2021-01-21 標簽：mems MEMS器件 MEMS壓力傳感器 8603 0

MEMS傳感器將迎來新的浪潮！MEMS定義與應用

受惠于2007 年蘋果手機和任天堂Wii 游戲機的誕生，MEMS 在消費電子領域迎來噴薄式的發(fā)展。iPhone 6S 包含加速度計、電子羅盤、陀螺儀、M...

2019-04-02 標簽：傳感器 mems 機電系統(tǒng) 8595 0

不同類型MEMS傳感器的比較 MEMS傳感器的工作原理

由于MEMS傳感器測量的外部信號不同，不同類型的MEMS傳感器技術差異較大。MEMS慣性傳感器主要檢測物體的運動，需要將傳感器安裝在載體上用于檢測載體的...

2023-06-13 標簽：mems 陀螺儀慣性傳感器 8594 0

新型MEMS加速度計與商用壓電(PZT)狀態(tài)監(jiān)控加速度計的比較

今天我們將通過回顧一些數(shù)據(jù)來說明MEMS技術的發(fā)展狀況及性能水平，并將其與商用壓電(PZT)狀態(tài)監(jiān)控加速度計進行比較。

2017-08-29 標簽：mems 加速度計 8592 0

MEMS慣性器件典型失效模式及失效機理研究

本文通過大量的歷史資料調(diào)研和失效信息收集等方法，針對不同環(huán)境應力條件下的MEMS慣性器件典型失效模式及失效機理進行了深入探討和分析。

2018-05-21 標簽：MEMS 慣性器件 8548 0

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IoT是Internet of Things的縮寫，字面翻譯是“物體組成的因特網(wǎng)”，準確的翻譯應該為“物聯(lián)網(wǎng)”。物聯(lián)網(wǎng)（Internet of Things）又稱傳感網(wǎng)，簡要講就是互聯(lián)網(wǎng)從人向物的延伸。
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wifi模塊ESP8266的默認波特率是115200，但是單片機不能達到那么快的傳輸速率，只能使用4800bps，那么設置的時候，必不可少的要先用轉(zhuǎn)串口調(diào)試下載器。

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