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      廠商產品 +關注129人關注

      微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

      文章：3494個 瀏覽：192775次 帖子：462個

      mems技術

      智能語音技術之麥克風的主要技術特性分析

      智能語音技術之麥克風的主要技術特性分析

      智能語音助理成為當紅炸子雞，作為相關應用不可或缺的聲音感測器，麥克風的市場規(guī)模也將出現(xiàn)明顯爆發(fā)，其中又以MEMS麥克風受惠最大。至于駐極體麥克風(ECM...

      2017-12-20 標簽：mems麥克風頻率響應 1.0萬 0

      什么是MEMS傳感器？mems傳感器的組成和應用分類有哪些？

      傳感器發(fā)展到今天，小型化、智能化、集成化，已經是升級換代的必由之路。今天，我們來為大家介紹一下傳感器家族的mini型產品 MEMS傳感器。 什么是MEM...

      2017-11-24 標簽：傳感器mems微機電系統(tǒng) 1.0萬 0

      全球主流可穿戴傳感器分類及主要方案盤點

      IHS 預期，消費者對各類可穿戴設備的強勁需求，將讓應用在可穿戴設備中的傳感器出貨量激增，預計在2013至2019年間將成長七倍；可穿戴傳感器出貨量在 ...

      2014-11-28 標簽：傳感器MEMS可穿戴設備 1.0萬 1

      超級全面！一文看懂***：MEMS傳感器及芯片制造的最核心設備

      超級全面！一文看懂***：MEMS傳感器及芯片制造的最核心設備

      文章大綱 光刻是芯片制造最核心環(huán)節(jié)，大陸自給率亟待提升 ·光刻機是芯片制造的核心設備，市場規(guī)模全球第二 ·一超兩強壟斷市場，大陸卡脖子現(xiàn)象凸顯 光刻機：...

      2023-06-19 標簽：傳感器mems光刻機 1.0萬 0

      典型的MEMS工藝流程的簡介

      MEMS表面微機械加工工藝是指所有工藝都是在圓片表面進行的MEMS制造工藝。表面微加工中，采用低壓化學氣相淀積（LPCVD）這一類方法來獲得作為結構單元...

      2021-02-11 標簽：集成電路MEMS執(zhí)行器 1.0萬 0

      淺談MEMS技術工藝的發(fā)展及未來

      淺談MEMS技術工藝的發(fā)展及未來

      MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀70年代末80年代初，當時用大型蝕刻硅片結構和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動膜在壓力下變 形，會影響其表面...

      2018-03-12 標簽：臺積電mems 9943 0

      MEMS制程:簡要介紹一下前段制程的特點及涉及的設備

      電子束蒸鍍利用電磁場的配合可以精準地實現(xiàn)利用高能電子轟擊坩堝內膜材，使膜材表面原子蒸發(fā)進而沉積在基片上；以FATRI UTC電子束蒸鍍機在MEMS制造過...

      2018-04-12 標簽：半導體mems電磁場 9889 0

      淺析MEMS麥克風噪聲失效具體案例

      淺析MEMS麥克風噪聲失效具體案例

      MEMS麥克風噪聲主要包括MEMS芯片的機械振動噪聲和ASIC芯片的電噪聲，如何在非破壞性測試的情況下快速判斷噪聲失效的原因一直困擾著失效分析工程者。

      2018-11-13 標簽：芯片MEMS噪聲 9856 0

      關于MEMS傳感器的廣泛應用領域

      關于MEMS傳感器的廣泛應用領域

      物聯(lián)網的發(fā)展，傳感器產品需求大幅增加，重心也逐漸轉向技術含量較高的MEMS傳感器領域。

      2018-04-30 標簽：MEMSVR 9834 0

      MEMS磁傳感器主元件SEM電連接及設計

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      由于MEMS技術可以將傳統(tǒng)的磁傳感器小型化，因此基于MEMS的磁傳感器具有體積小、性能高、成本低、功耗低、高靈敏和批量生產等優(yōu)點。

      2018-04-03 標簽：MEMS磁傳感器 9789 0

      MEMS麥克風讀出電路設計方案

      MEMS麥克風讀出電路設計方案

      本文提供的MEMS麥克風讀出電路設計方案具有噪聲小、可以處理的小信號幅度范圍廣、功耗低等特點，可延長電池供電的便攜式設備的待機時間。

      2018-11-15 標簽：MEMS麥克風 9643 0

      MEMS光開關控制原理解析

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      MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微機電系統(tǒng)）是指將微型機械、微型執(zhí)行器、信號處理和控制電路等集于一體的可批量...

      2018-01-17 標簽：開關mems 9596 0

      探討什么是MEMS可調性濾波器？

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      濾波器是射頻微波系統(tǒng)必不可少的重要組成部分，性能優(yōu)異的濾波器模塊是射頻微波通信系統(tǒng)能正常工作的必要前提。傳統(tǒng)的微波濾波器雖然在參數(shù)指標上有很優(yōu)秀的性能，...

      2019-03-14 標簽：濾波器mems 9331 0

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      超聲波被定義為上面的循環(huán)聲壓力人類聽覺的頻率限制，大約20 kHz。這是超聲波最明顯的特征，但不一定是最重要的。根據應用要求，用戶可能還會關注：

      2019-03-01 標簽：傳感器mems超聲波 9331 0

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      MEMS （ Micro-Electro-Mechanical System ）是指集機械元素、微型傳感器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于...

      2018-02-23 標簽：傳感器mems 9318 0

      實現(xiàn)器件微型化的微機電系統(tǒng)（MEMS）技術

      為了實現(xiàn)核心電場敏感器件“心臟”的微型化，項目組基于MEMS技術，發(fā)明了新型的微結構電場傳感器，創(chuàng)造性地發(fā)展了微型電場傳感器及其實際應用，系統(tǒng)地解決了從...

      2018-06-13 標簽：MEMS電場傳感器 9316 0

      基于ADXL362的運動監(jiān)測MEMS加速度計電路模塊設計

      采用ADI公司三軸加速度傳感器ADXL362。ADXL362既能測量動態(tài)加速度也能測量靜態(tài)加速度，具有超低功耗，采用SPI通信。

      2014-09-23 標簽：MEMSADXL362 9308 0

      如何將3D加速計和陀螺儀組合使用

      加速計和陀螺儀是獲取無人機、蜂窩電話、汽車、接收機和移動物聯(lián)網設備中加速和旋轉信息的傳感器選擇。但加速計和陀螺儀都容易有誤差，加速計可能出現(xiàn)噪音、陀螺儀...

      2018-08-07 標簽：mems陀螺儀加速計 9298 0

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      當BLE遇到MEMS，就如同天使有了翅膀。本期從有淺入深的介紹BLE與MEMS的那些事，就從ST的STEVA

      2018-03-31 標簽：MEMS陀螺儀ST 9297 0

      世健結合MEMS技術的紅外光源和傳感器的紅外氣體檢測方案

      使用的紅外光源EMIRS 50是通過緊湊的TO-46封裝，它可以提供帶保護帽或者帶反射面，這些結構可以配置藍寶石或氟化鈣、氟化鋇和鍺等材料的濾光片。

      2018-03-20 標簽：傳感器mems世健 9293 0

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        TMS320F28335
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