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      廠商產品 +關注129人關注

      微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

      文章：3494個 瀏覽：192775次 帖子：462個

      mems技術

      什么是MEMS？MEMS深度文章從原理制造到應用全講透

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      2023-08-21 標簽：傳感器芯片mems 1.2萬 0

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      2019-02-12 標簽：傳感器esdmems 1.2萬 0

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      2018-05-09 標簽：芯片MEMS微流控 1.2萬 0

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      2015-07-02 標簽：DSPmemsMEMS麥克風 1.2萬 0

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      2018-06-12 標簽：mems加速度計 1.2萬 0

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      MEMS第一輪商業化浪潮始于20世紀70年代末80年代初，當時用大型蝕刻硅片結構和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動膜在壓力下變形，會影響其表面的...

      2018-01-17 標簽：mems 1.2萬 0

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