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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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解釋上述時間因素主要有四點。首先,市場應用正在推動MEMS超聲波換能器發展。由于更便宜且更小的探頭誕生,醫療超聲波成像將實現平民化,全科醫生甚至家庭都可...
解決大問題需要開創性的技術。機電繼電器早在電報問世之初就已存在,但沒有其他替代的開關技術可滿足所有市場需求——特別是對于測試和測量、通信、防務、醫療保健...
Micralyne即將推出下一代小型化低功耗氣體傳感器的MEMS技術平臺
據麥姆斯咨詢報道,MEMS代工廠Micralyne展示了用于開發下一代氣體傳感器的MEMS技術平臺——標準的硅工藝技術和工藝模塊。
據麥姆斯咨詢報道,位于德國慕尼黑的LiDAR(激光雷達)創業公司Blickfeld近日宣布將其種子輪融資提高到了1000萬美元,包括OSRAM(歐司朗)...
當前以MEMS為基礎的細胞微陣列芯片受到科研人員廣泛重視。通過微加工技術在基底上構建微尺度的圖形結構,并通過物理化學修飾對表面進行改性,使得細胞在特定區...
SPI至RS-485/RS-422設計解決方案的詳細物理層設計注意事項
為MEMS實現有線物理層接口的常見挑戰包括管理EMC魯棒性和數據完整性。然而,當在長RS-485/RS-422電纜上擴展時鐘同步接口(如SPI)時,以及...
X射線光刻(X-ray lithography)技術是什么意思
X射線光刻(X-ray lithography)技術是電子工業中用于選擇性去除一部分薄膜的工藝。使用X射線將幾何圖形轉移光敏光刻膠上。然后進行一系列化學...
犧牲層技術自20世紀80 年代美國加州大學伯克利分校開發至今,得到了快速發展。犧牲層技術是 MEMS 工藝設計中有別于傳統IC制造工藝技術之一
可變光衰減器(VOA)是光纖通信中一種重要的光無源器件,本內容詳細介紹了MEMS VOA在光通信系統中的應用。
壓力傳感器有多種不同的應用,其中最常見的應用是氣象監測。壓力傳感器現在已非常普遍。它現在可能就存在你的口袋里!是的,在你的手機里就有一個。你的手機使用壓...
電子發燒友網報道(文/程文智)不論我們設計的電子產品是應用在云計算、無線LTE、數據中心,還是物聯網、汽車、醫療保健,或者是航空航天等領域,系統內必然需...
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