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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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深入了解工業(yè)應(yīng)用的高性能RF MEMS開關(guān)
當(dāng)柵極和源極之間的偏置電壓超過開關(guān)閾值電壓時(shí),梁上的觸點(diǎn)便接觸漏極,源極和漏極之間的電路閉合,開關(guān)接通。移除偏置電壓后,即柵極上為0V時(shí),懸臂梁像彈簧一...
由上海微技術(shù)工業(yè)研究院構(gòu)建的國內(nèi)首條,全球領(lǐng)先,兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線正式向業(yè)界發(fā)聲,在打造中國完整的“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)鏈基礎(chǔ)上,旨在進(jìn)一步推動(dòng)中...
2017-09-28 標(biāo)簽:mems 6547 0
ADIS16355芯片MEMS陀螺儀數(shù)據(jù)采集硬件設(shè)計(jì)
DIS16355慣性測量裝置將三軸角速度感知與三軸加速度感知相結(jié)合,提供六自由度運(yùn)動(dòng)感知、嵌入式校準(zhǔn)與傳感器處理以及傳感器-傳感器交叉補(bǔ)償,并大大提高信...
MEMS諧振器的發(fā)展史 Si50x CMEMS振蕩器概述
20世紀(jì)中期以來,頻率控制的市場就是由石英晶體諧振器和石英振蕩器所主導(dǎo)的。甚至到了今天,幾乎所有的電子設(shè)備在某方面仍是依賴機(jī)械石英晶體來產(chǎn)生多種可能運(yùn)行...
SiTime推出新型振蕩器 進(jìn)一步向無人駕駛汽車的領(lǐng)域進(jìn)軍
MEMS振蕩器領(lǐng)域的行業(yè)龍頭企業(yè)SiTime Corporation宣布面向高級駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)中的汽車網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用方向推出新型振蕩器。這些解決方案...
MEMS是一種全新的必須同時(shí)考慮多種物理場混合作用的研發(fā)領(lǐng)域,相對于傳統(tǒng)的機(jī)械,它們的尺寸更小,最大的不超過一個(gè)厘米,甚至僅僅為幾個(gè)微米,其厚度就更加微...
掌控MEMS陀螺儀噪聲響應(yīng)的兩個(gè)重要方面
根本問題是角速率反饋環(huán)路中的噪聲可能直接影響運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的關(guān)鍵性能標(biāo)準(zhǔn),因此,在設(shè)計(jì)新系統(tǒng)的過程中,應(yīng)當(dāng)盡早予以考慮。相比于僅知道需要低噪聲的人,能夠量...
2018-06-12 標(biāo)簽:mems陀螺儀數(shù)字濾波器 6429 0
日本開發(fā)一種監(jiān)測系統(tǒng) 通過MEMS傳感器和無線技術(shù)實(shí)現(xiàn)建筑物結(jié)構(gòu)監(jiān)測
該建筑物結(jié)構(gòu)監(jiān)測系統(tǒng)通過新開發(fā)的高精度MEMS傳感器,并結(jié)合920MHz頻段的無線技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)長期的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性監(jiān)測。
VTI公司使用基于SCA600C13H1G型MEMS加速度傳感器,提出一種無創(chuàng)胎心檢測方法,研制出一種簡單易學(xué)、直觀準(zhǔn)確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒監(jiān)護(hù)...
妙用MEMS加速度計(jì) + 高通濾波器組合“砍”系統(tǒng)功耗
MEMS加速度計(jì)已成為行動(dòng)裝置省電設(shè)計(jì)的重要元件。內(nèi)建高通濾波器并具備自由落體偵測功能的加速度計(jì),能藉由一支中斷接腳為處理器提供可靠的喚醒和無動(dòng)作偵測訊...
MEMS傳感器在工業(yè)自動(dòng)化中的設(shè)計(jì)
工業(yè)4.0和工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)(IIoT)等計(jì)劃正在幫助制造企業(yè)提高生產(chǎn)流程的效率?;谠频姆治鰬?yīng)用程序負(fù)責(zé)整理和提供運(yùn)行生產(chǎn)或制造操作的許多不同方面的上下文。...
MEMS技術(shù)淺談及應(yīng)用設(shè)計(jì)方案集錦
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),在歐洲也被稱為微系統(tǒng)技術(shù),或在日本被稱為微機(jī)械,是一類器件,其特點(diǎn)是尺寸很小,制造方式特殊。MEMS器件的特征長度從1毫米到1微...
基于MEMS技術(shù)的微型硅基聲吶器件提供了毫米級精度的距離傳感功能
超低功耗的片上系統(tǒng)(SoC)控制整個(gè)ToF處理過程:發(fā)送超聲波脈沖,將接收的超聲回波數(shù)字化,檢測ToF到最近目標(biāo)并通過I2C返回16位ToF信號。SoC...
測量角速率的MEMS陀螺儀有幾個(gè)內(nèi)部誤差因素,偏置不穩(wěn)定是一個(gè)組成部分。然而,與分立元件相比,慣性測量單元(IMU)具有幾個(gè)優(yōu)勢,可增強(qiáng)性能。具有六個(gè)自...
本視頻介紹三軸、高g MEMS加速度計(jì)ADXL372的三種常用工作模式。該器件針對撞擊和沖擊檢測而設(shè)計(jì);具有超低功耗特性,100Hz輸出數(shù)據(jù)速率時(shí)的功耗...
據(jù)麥姆斯咨詢介紹,砂輪劃片、激光全切等傳統(tǒng)切割方式存在振動(dòng)沖擊大、切割屑污染、熱應(yīng)力作用大等問題,常常導(dǎo)致具有懸膜、懸臂梁、微針、微彈簧等敏感結(jié)構(gòu)類型的芯片損壞
靜電力是另一種可能引起粘附的作用力。在靜電驅(qū)動(dòng)或摩擦的作用下,殘余電荷會(huì)集聚在MEMS器件中的絕緣部件或絕緣層上,例如:氧化硅或氮化硅絕緣層和疏水涂層等...
2019-02-14 標(biāo)簽:傳感器驅(qū)動(dòng)器mems 6241 0
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