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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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基于MEMS技術(shù)的風(fēng)速和風(fēng)向測(cè)量傳感器設(shè)計(jì)
硅薄膜式測(cè)風(fēng)傳感器的設(shè)計(jì)示意圖如圖1所示。薄膜式風(fēng)速風(fēng)向傳感器主要是利用風(fēng)吹薄膜對(duì)薄膜產(chǎn)生風(fēng)壓,風(fēng)壓導(dǎo)致薄膜形變,薄膜上的應(yīng)變電阻就會(huì)感應(yīng)到薄膜的形變。...
TowerJazz和Crocus合作量產(chǎn)TMR磁傳感器
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,TowerJazz和TMR磁傳感器技術(shù)及嵌入式MRAM(磁隨機(jī)存儲(chǔ)器)領(lǐng)先開發(fā)商Crocus公司,近日共同宣布雙方將利用TowerJa...
SiTime推出MEMS參考時(shí)鐘支持新物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用所需的最佳尺寸、功耗和精度
SiTime市場(chǎng)部執(zhí)行副總裁Piyush Sevalia指出:“SiTime獨(dú)到的時(shí)序產(chǎn)品致力于為最嚴(yán)峻挑戰(zhàn)的設(shè)計(jì)提供解決方案。伴隨著物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展,...
2018-02-02 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)sitime 6142 0
日立新型MEMS加速度計(jì)比商用MEMS加速度計(jì)靈敏度跟高,且功耗降低50%
日立通過在MEMS質(zhì)量塊上制作貫通孔來降低空氣阻力,并且貫通孔的直徑在上層和下層之間是變化的。上層為電極部分,下層為重量較大的運(yùn)動(dòng)層。上述方法可將空氣阻...
中國(guó)是全球最大的半導(dǎo)體市場(chǎng),也是全球最大的電子信息產(chǎn)品制造基地。
射頻MEMS開關(guān)技術(shù)的最新進(jìn)展解析
由于MEMS開關(guān)是采用半導(dǎo)體制造工藝制成的,因此它們采用表面安裝之類的封裝技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)極小的外形尺寸。采用已有的批量制造技術(shù),并且積極改進(jìn)工藝從而在產(chǎn)量...
醫(yī)學(xué)傳感器技術(shù)把握了現(xiàn)代健康設(shè)備的脈動(dòng)
在更接近患者的傳感器層面,MEMS、納米技術(shù)、超低功耗傳感器、無線充電和新通信協(xié)議的持續(xù)發(fā)展都會(huì)產(chǎn)生重大影響。此外,醫(yī)療設(shè)備設(shè)計(jì)人員正在關(guān)注傳感器融合和...
“要保證動(dòng)車組高速平穩(wěn)行駛,首先要由加速度傳感器對(duì)來自X(軸)、Y(徑)和Z(垂)向的應(yīng)力進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),并將電信號(hào)傳輸給列車指揮系統(tǒng)。”北京交通大學(xué)教授...
干法刻蝕解決RIE中無法得到高深寬比結(jié)構(gòu)或陡直壁問題
在 MEMS 制造工藝中,常用的干法刻蝕包括反應(yīng)離子刻蝕 (Reactive lon Etching, RIE)、深反應(yīng)離子刻蝕(Deep Reacti...
硅與MEMS振蕩器正在加入到高度分化的振蕩器市場(chǎng)中石英晶體與陶瓷諧振器的行列。選擇正確的應(yīng)用器件不需要水晶球,不過一些相關(guān)事實(shí)會(huì)有所幫助。
應(yīng)用與音頻設(shè)計(jì)的MEMS麥克風(fēng)技術(shù)介紹
使用CMOS技術(shù)還可以在同一芯片上實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)接口,增加集成度并降低系統(tǒng)功耗,因?yàn)樾酒叫酒倪B接和整體材料清單都很少。隨著可靠性的提高,這些因素促使該技術(shù)...
MMA766OFC加速度計(jì)在移動(dòng)電話中的應(yīng)用
據(jù)iSuppli稱,加速度計(jì)正迅速滲透到手機(jī)市場(chǎng),似乎沒有在不久的將來放松。正如他們預(yù)測(cè)的那樣,2010年出貨的手機(jī)中約有三分之一包括MEMS加速度計(jì)。...
意法半導(dǎo)體推出的9軸運(yùn)動(dòng)位置傳感器LSM9DS1模塊介紹
意法半導(dǎo)體執(zhí)行副總裁兼模擬產(chǎn)品、MEMS及傳感器產(chǎn)品事業(yè)總經(jīng)理Benedetto Vigna表示:“這款高性能9軸微型模塊基于我們最新的MEMS技術(shù),讓...
2019-10-04 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體位置傳感器 5824 0
Piezoelectricity這詞來源于希臘語piezein,表示施加壓力,1880年由兩位法國(guó)物理學(xué)家(Pierre,Paul-Jacques Cu...
應(yīng)用利用加速度傳感器的信號(hào)判斷手機(jī)的狀態(tài)是平放,還是有一定角度?顯示屏是向上還是向下?
一文詳解導(dǎo)航系統(tǒng)的慣性技術(shù)原理
慣性導(dǎo)航技術(shù)是慣性技術(shù)的核心和發(fā)展標(biāo)志,慣性導(dǎo)航系統(tǒng) (Inertia navigation system,INS) 利用陀螺儀和加速度計(jì) (統(tǒng)稱為慣性...
2023-08-22 標(biāo)簽:mems陀螺儀導(dǎo)航系統(tǒng) 5717 0
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