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DNP突破超2nm EUV光刻光掩模技術

科技綠洲 ? 來源:網絡整理 ? 作者:網絡整理 ? 2024-12-23 17:19 ? 次閱讀
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Dai Nippon Printing Co., Ltd.(DNP)近期在半導體制造技術領域取得了重大突破,成功實現了適用于超2nm(納米,即10^-9米)一代的邏輯半導體光掩模所需的精細圖案分辨率。這一成就為極紫外光(EUV)光刻技術提供了有力支持,該技術是半導體制造領域的尖端工藝之一。

DNP的這次技術突破不僅滿足了當前半導體行業對高精度、高分辨率光掩模的迫切需求,更為未來超2nm的下一代半導體制造鋪平了道路。據悉,DNP已經完成了與高數值孔徑(NA)2光掩模相關的標準評估工作。高數值孔徑技術是下一代半導體制造中備受矚目的技術之一,有望為半導體制造帶來更高的分辨率和更精細的圖案。

隨著技術的不斷進步,高性能、低功耗的半導體已經成為行業發展的必然趨勢。而DNP此次實現的高分辨率光掩模技術,正是實現這一目標的關鍵所在。通過該技術,半導體制造商可以在硅晶圓上以更高的精度形成精細圖案,從而提升半導體的性能和功耗表現。

值得一提的是,DNP已經開始提供評估光掩模,以便與業界伙伴共同驗證和推進這一新技術的應用。這一舉措不僅彰顯了DNP在半導體制造技術領域的領先地位,更為整個半導體產業的未來發展注入了新的活力。

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