豐田合成開發(fā)出8英寸GaN單晶晶圓
近日，日本豐田合成株式會社宣布了一項(xiàng)重大技術(shù)突破：成功開發(fā)出用于垂直晶體管的200mm（8英寸）氮化鎵（GaN）單晶晶圓。
據(jù)豐田合成介紹，與傳統(tǒng)的硅基GaN工藝橫向晶體管相比，采用氮化鎵單晶構(gòu)建的垂直晶體管在功率器件密度方面具有顯著優(yōu)勢。這一技術(shù)突破意味著，未來可以在更大尺寸的晶圓，如200mm和300mm晶圓上制造更高性能的功率器件。
然而，制造大尺寸GaN單晶晶圓一直是一項(xiàng)技術(shù)難題。此前，業(yè)界在制造尺寸大于4英寸的GaN單晶晶圓時面臨諸多困難。豐田合成的此次成功，無疑為GaN技術(shù)的發(fā)展注入了新的活力。
豐田合成的這一技術(shù)突破，不僅展示了其在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的創(chuàng)新能力，也為未來功率半導(dǎo)體器件的發(fā)展提供了新的可能。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和成本的逐步降低，GaN器件有望在更廣泛的領(lǐng)域得到應(yīng)用，為人們的生活帶來更多便利。
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