近年來,芯片行業(yè)深陷大國博弈的風口浪尖。國內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)的 “卡脖子” 難題,更多集中于芯片制造環(huán)節(jié),尤其是光刻機、光刻膠等關(guān)鍵設(shè)備和材料領(lǐng)域。作為現(xiàn)代科技的核心,芯片的原材料竟是生活中隨處可見的沙子。從沙子到芯片,需歷經(jīng)數(shù)百道工序。下面,讓我們深入了解芯片的制造流程。
一、從沙子到硅片(原材料階段)
沙子由氧和硅組成,主要成分是二氧化硅。芯片制造的首要步驟就是將沙子中的二氧化硅還原成硅錠,之后經(jīng)過提純,得到一根根長長的硅棒。硅棒需依次進行研磨、切割、拋光等處理,得到厚度<1mm的鏡面硅片,這一階段在硅片廠商進行
整體流程為:沙子→硅熔煉→單晶硅錠→硅錠切割→硅片
二、晶圓制造(核心工藝)
硅片生完完后,便進入晶圓廠開啟復(fù)雜的加工工序
在光禿禿的硅片上表面均勻涂抹光刻膠,利用光刻機進行曝光,將掩模版上的電路圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上。曝光后,對曝光細節(jié)進行處理,再溶解掉不需要的光刻膠。
蝕刻與清洗:通過蝕刻技術(shù),將光刻后暴露出來的晶圓部分進行刻蝕,形成所需的電路結(jié)構(gòu)。最后,清除殘留的光刻膠,得到了包含數(shù)百枚的晶圓,這一階段由晶圓廠進行。
整體流程為:光刻膠→曝光→曝光細節(jié)處理→溶解光刻膠→蝕刻→清除光刻膠→晶圓
三、CP測試即晶圓級測試
晶圓上單個Die的故障率可達5%-20%,為了減少封裝成本,都需進行CP測試(即晶圓級測試)可降低30%封裝成本,基于ATE測試平臺開發(fā)CP測試程序,ATE測試平臺通常采用PXIe模塊化儀器,搭配國產(chǎn)海量互連接口,形成一個可擴展、通用的測試平臺,滿足芯片的高精度、高效的測試需求
四、芯片封裝
CP測試合格后,晶圓進入芯片封裝階段
對晶圓進行切割,取出合格的芯片裸片(Pass Die),形成單顆Die,將單顆Die與基板、金屬散熱片進行封裝,保護芯片并實現(xiàn)電氣連接與散熱。
整體流程為:晶圓切割→取出Pass Die→單顆Die→基板、Die 和金屬散熱片→封裝
五、FT測試 —芯片級最終把關(guān)
封裝完成后,進行FT測試,即芯片級測試,這是芯片出貨前的最后一道測試工序,對保障芯片質(zhì)量至關(guān)重要,基于ATE測試平臺開發(fā)CP測試程序。
芯片制造是一場涉及千億級投入的"馬拉松",盡管我國目前自主化程度不高,國產(chǎn)化率仍不足15%,但通過材料(硅片)、設(shè)備(光刻機)、測試(ATE)三大環(huán)節(jié)的垂直突破,可實現(xiàn)從上游的硅片制造,到中游的晶圓、芯片制造,實現(xiàn)芯片產(chǎn)業(yè)鏈的完全自主可控。
審核編輯 黃宇
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