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數(shù)控車床是一種高精度、高效率的自動化機(jī)床,使用數(shù)控車床可以提高加工效益,創(chuàng)造更多的價值,數(shù)控車床的出現(xiàn)使企業(yè)擺脫了那落后的加工技術(shù),數(shù)控車床加工的工藝與...
數(shù)控車床是一種高精度、高效率的自動化機(jī)床,使用數(shù)控車床可以提高加工效益,創(chuàng)造更多的價值,數(shù)控車床的出現(xiàn)使企業(yè)擺脫了那落后的加工技術(shù),數(shù)控車床加工的工藝與...
使用虛擬實驗設(shè)計加速半導(dǎo)體工藝發(fā)展
實驗設(shè)計(DOE)是半導(dǎo)體工程研發(fā)中一個強(qiáng)大的概念,它是研究實驗變量敏感性及其對器件性能影響的利器。如果DOE經(jīng)過精心設(shè)計,工程師就可以使用有限的實驗晶...
在超大規(guī)模集成(ULSI)制造的真實生產(chǎn)線中,器件加工過程中存在各種污染物。由于超大規(guī)模集成電路器件工藝需要非常干凈的表面,因此必須通過清潔技術(shù)去除污染...
ALD 和 ALE 是微納制造領(lǐng)域的核心工藝技術(shù),它們分別從沉積和刻蝕兩個維度解決了傳統(tǒng)工藝在精度、均勻性、選擇性等方面的挑戰(zhàn)。兩者既互補(bǔ)又相輔相成,未...
微弧氧化又稱微等離子體氧化,是通過電解液與相應(yīng)電參數(shù)的組合,在鋁、鎂、鈦及其合金表面依靠弧光放電產(chǎn)生的瞬時高溫高壓作用,生長出以基體金屬氧化物為主的陶瓷膜層。
金屬層1工藝是指形成第一層金屬互連線,第一層金屬互連線的目的是實現(xiàn)把不同區(qū)域的接觸孔連起來,以及把不同區(qū)域的通孔1連起來。第一金屬層是大馬士革的銅結(jié)構(gòu),...
中國科學(xué)院大學(xué)集成電路學(xué)院是國家首批支持建設(shè)的示范性微電子學(xué)院。為了提高學(xué)生對先進(jìn)光刻技術(shù)的理解,本學(xué)期集成電路學(xué)院開設(shè)了《集成電路先進(jìn)光刻技術(shù)與版圖設(shè)...
裝片(Die Bond)作為半導(dǎo)體封裝關(guān)鍵工序,指通過導(dǎo)電或絕緣連接方式,將裸芯片精準(zhǔn)固定至基板或引線框架載體的工藝過程。該工序兼具機(jī)械固定與電氣互聯(lián)雙...
概倫電子集成電路工藝與設(shè)計驗證評估平臺ME-Pro介紹
ME-Pro是概倫電子自主研發(fā)的用于聯(lián)動集成電路工藝與設(shè)計的創(chuàng)新性驗證評估平臺,為集成電路設(shè)計、CAD、工藝開發(fā)、SPICE模型和PDK專業(yè)從業(yè)人員提供...
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