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標簽 > 蝕刻機

蝕刻機

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蝕刻機可以分為化學蝕刻機及電解蝕刻機兩類。在化學蝕刻中是使用化學溶液,經由化學反應以達到蝕刻的目的,化學蝕刻機是將材料用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。

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蝕刻機簡介

  蝕刻機可以分為化學蝕刻機及電解蝕刻機兩類。在化學蝕刻中是使用化學溶液,經由化學反應以達到蝕刻的目的,化學蝕刻機是將材料用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。

  基本原理是在真空低氣壓下,ICP 射頻電源產生的射頻輸出到環形耦合線圈,以一定比例的混合刻蝕氣體經耦合輝光放電,產生高密度的等離子體,在下電極的RF 射頻作用下,這些等離子體對基片表面進行轟擊,基片圖形區域的半導體材料的化學鍵被打斷,與刻蝕氣體生成揮發性物質,以氣體形式脫離基片,從真空管路被抽走。

  蝕刻機主要應用于航空、機械、標牌工業中,蝕刻機技術廣泛地被使用于減輕重量(Weight Reduction)儀器鑲板,銘牌及傳統加工法難以加工之薄形工件等之加工。

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蝕刻機知識

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蝕刻機技術

pcb蝕刻機的基礎原理

一、蝕刻的目的 蝕刻的目的即是將前工序所做出有圖形的線路板上的未受保護的非導體部分銅蝕刻去,形成線路。 蝕刻有內層蝕刻和外層蝕刻,內層采用酸性蝕刻,濕膜...

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半導體光刻工藝流程分析

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等離子體蝕刻機需要與濕法蝕刻相同的元素:化學蝕刻劑和能量源。從物理上講,等離子體蝕刻機由室、真空系統、氣體供應、終點檢測器和電源組成(如下圖所示)。晶圓...

2024-11-05 標簽:半導體等離子體蝕刻機 644 0

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蝕刻機帖子

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蝕刻機資訊

中國光刻機實現90nm制程芯片生產

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制作芯片需要什么設備

芯片的設計制造技術已經成為全球大國競爭的重要標志之一,芯片的生產制造設備為芯片的制造奠定了基礎,下面小編帶大家了解一下芯片制造所需要的的設備。

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中國芯片行業逐漸崛起 5nm蝕刻機技術實現新突破

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2022-10-08 標簽:蝕刻機 9425 0

PCB蝕刻機的原理及其工藝流程的介紹

蝕刻機的基礎原理一、蝕刻的目的蝕刻的目的即是將前工序所做出有圖形的線路板上的未受保護的非導體部分銅蝕刻去,形成線路。蝕刻有內層蝕刻和外層蝕刻,內層采用酸...

2020-12-24 標簽:pcb工藝流程蝕刻機 8835 0

中微已制造出5納米蝕刻機,對中國半導體領域影響深遠

早在2017年4月份從研制半導體設備的中微公司傳來捷報,其掌門人尹志堯正式對外宣布已經攻克5納米蝕刻機的制造技術,一時在國產半導體行業激起千層波浪,而實...

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中微半導體5nm蝕刻機進入5nm供應鏈 已成功取得5nm邏輯電路及64層3DNAND制造廠的訂單

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國產3nm芯片蝕刻機取得突破

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中微半導體是中國唯一的蝕刻機巨頭

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行業 | 中國半導體設備現狀,蝕刻機一枝獨秀

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蝕刻機數據手冊

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