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電子發(fā)燒友網(wǎng)>模擬技術(shù)>淺談SiC晶體材料的主流生長技術(shù)

淺談SiC晶體材料的主流生長技術(shù)

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本實用新型公開一種適用于 PVT 法生長 SiC 晶體系統(tǒng)的測溫結(jié)構(gòu),所述系統(tǒng)具有用坩堝圍成的晶體生長晶體生長室,配置于生長室室內(nèi)頂部的籽晶托,和在所述晶體生長室外圍的保溫層 ;所述的測溫結(jié)構(gòu)包括
2020-04-09 08:00:003

基于簡單的支架多片4H-SiC化學氣相沉積同質(zhì)外延生長

雖然在商用化學氣相沉積設備中可以在一次運行中實現(xiàn)多片4H-SiC襯底的同質(zhì)外延生長,但是必須將晶片裝載到可旋轉(zhuǎn)的大型基座上,這導致基座的直徑隨著數(shù)量或者外延晶片總面積的增加而增加。
2020-12-26 03:52:29492

SiC晶體具有哪些特性

碳化硅(SiC)在設計大功率電子器件方面優(yōu)于傳統(tǒng)硅,開發(fā)者們對SiC材料的物理特性還有性能有較多的認識,這種高性能化合物半導體的被廣泛采用,但在應用中如何控制晶體的缺陷密度仍是一個挑戰(zhàn)。
2022-04-16 17:07:542689

SiC功率器件的主要特點

基于以日本、美國和歐洲為中心對生長材料特性和器件加工技術(shù)的廣泛研究,SiC SBD和金屬氧化物半導體場效應晶體管(MOSFET)的生產(chǎn)已經(jīng)開始。然而,SiC功率MOSFET的性能仍遠未達到材料的全部潛力。
2022-11-02 15:04:281551

半導體材料“3C-SiC”的晶體純度和質(zhì)量進展

這次,合作團隊使用 Air Water 開發(fā)的 3C-SiC 晶體,評估了熱導率并進行了原子級分析。具體而言,首先,在硅(Si)基板上形成厚度100μm的3C-SiC。之后,去除 Si 以制造 3C-SiC 自支撐襯底。
2022-12-21 10:19:271802

高效SiC功率器件的演進

SiC晶體是通過Lely升華技術(shù)生長的。晶體主要是6H-SiC,但包括其它多型體。1978年,Tairov和Tsvetkov發(fā)明了一種可復制的SiC晶塊生長方法。
2022-12-28 11:44:13717

天科合達談八英寸SiC

本實驗通過以自主研發(fā)的由c軸偏向<11-20>方向4°的6英寸4H-SiC襯底作為籽晶和擴徑生長的起始點,采用物理氣相傳輸(physical vapor transport, PVT)法進行擴徑生長獲得直徑放大的SiC單晶。
2023-01-17 14:10:101194

SIC碳化硅MOSFET的制造工藝

介紹了SIC碳化硅材料的特性,包括材料結(jié)構(gòu),晶體制備,晶體生長,器件制造工藝細節(jié)等等。。。歡迎大家一起學習
2023-03-31 15:01:4817

SiC碳化硅單晶的生長原理

碳化硅單晶襯底材料(Silicon Carbide Single Crystal Substrate Materials,以下簡稱SiC襯底)也是晶體材料的一種,屬于寬禁帶半導體材料,具有耐高壓、耐高溫、高頻、低損耗等優(yōu)勢,是制備大功率電力電子器件以及微波射頻器件的基礎性材料
2023-05-18 09:54:341934

GaN外延生長方法及生長模式

由于GaN在高溫生長時N的離解壓很高,很難得到大尺寸的GaN單晶材料,因此,為了實現(xiàn)低成本、高效、高功率的GaN HEMTs器件,研究人員經(jīng)過幾十年的不斷研究,并不斷嘗試利用不同的外延生長方法在Si
2023-06-10 09:43:44682

8.2.10.3 4H-SiC反型層遷移率的實驗結(jié)果∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

8.2.10.34H-SiC反型層遷移率的實驗結(jié)果8.2.10反型層電子遷移率8.2金屬-氧化物-半導體場效應晶體管(MOSFET)第8章單極型功率開關(guān)器件《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件
2022-03-05 10:43:22266

6.3.7 遷移率限制因素∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.3.7遷移率限制因素6.3氧化及氧化硅/SiC界面特性第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內(nèi)容:6.3.6不同晶面上的氧化硅/SiC界面特性∈《碳化硅技術(shù)
2022-01-21 09:37:00736

6.3.6 不同晶面上的氧化硅/SiC 界面特性∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.3.6不同晶面上的氧化硅/SiC界面特性6.3氧化及氧化硅/SiC界面特性第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內(nèi)容:6.3.5.5界面的不穩(wěn)定性∈《碳化硅技術(shù)
2022-01-21 09:35:56706

8.2.11 氧化層可靠性∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

8.2.11氧化層可靠性8.2金屬-氧化物-半導體場效應晶體管(MOSFET)第8章單極型功率開關(guān)器件《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內(nèi)容:8.2.10.34H-SiC
2022-03-07 09:51:01285

6.5 總結(jié)∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.5總結(jié)第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內(nèi)容:6.4.2.3p型SiC的歐姆接觸∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》6.4.2.2n型SiC
2022-01-27 09:16:44861

8.2.12 MOSFET 瞬態(tài)響應∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

8.2.12MOSFET瞬態(tài)響應8.2金屬-氧化物-半導體場效應晶體管(MOSFET)第8章單極型功率開關(guān)器件《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內(nèi)容:8.2.11氧化層可靠性
2022-03-07 09:38:20455

7.1.1 阻斷電壓∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

7.1.1阻斷電壓7.1SiC功率開關(guān)器件簡介第7章單極型和雙極型功率二極管《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內(nèi)容:6.5總結(jié)∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件
2022-02-07 16:12:08568

《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》全書

和載流子濃度2.2.2光吸收系數(shù)和折射率2.2.1能帶結(jié)構(gòu)2.1晶體結(jié)構(gòu)第3章碳化硅晶體生長3.9總結(jié)3.8切片及拋光3.7化學氣相淀積法生長3C-SiC晶圓3.6溶液
2022-05-09 17:19:452152

6.4.1.2 SiC上的肖特基接觸∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.4.1.2SiC上的肖特基接觸6.4.1n型和p型SiC的肖特基接觸6.4金屬化第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內(nèi)容:6.4.1.1基本原理∈《碳化硅技術(shù)
2022-01-24 10:22:28480

6.3.4.1 SiC特有的基本現(xiàn)象∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.3.4.1SiC特有的基本現(xiàn)象6.3.4電學表征技術(shù)及其局限性6.3氧化及氧化硅/SiC界面特性第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內(nèi)容:6.3.3熱氧化氧化
2022-01-05 13:59:37493

6.4.2.1 基本原理∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.4.2.1基本原理6.4.2n型和p型SiC的歐姆接觸6.4金屬化第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內(nèi)容:6.4.1.2SiC上的肖特基接觸∈《碳化硅技術(shù)
2022-01-24 10:09:121034

6.4.2.2 n型SiC的歐姆接觸∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.4.2.2n型SiC的歐姆接觸6.4.2n型和p型SiC的歐姆接觸6.4金屬化第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內(nèi)容:6.4.2.1基本原理∈《碳化硅技術(shù)
2022-01-25 09:18:08743

5.3.2.1 壽命控制∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

5.3.2.1壽命控制5.3.1SiC中的主要深能級缺陷5.3SiC中的點缺陷第5章碳化硅的缺陷及表征技術(shù)《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內(nèi)容:5.3.2載流子壽命“殺手
2022-01-06 09:38:25510

5.3.2 載流子壽命“殺手”∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

5.3.2載流子壽命“殺手”5.3.1SiC中的主要深能級缺陷5.3SiC中的點缺陷第5章碳化硅的缺陷及表征技術(shù)《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內(nèi)容:5.3.1.2雜質(zhì)∈《碳化硅
2022-01-06 09:37:40535

5.3.1.2 雜質(zhì)∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

5.3.1.2雜質(zhì)5.3.1SiC中的主要深能級缺陷5.3SiC中的點缺陷第5章碳化硅的缺陷及表征技術(shù)《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內(nèi)容:5.3.1.1本征缺陷∈《碳化硅技術(shù)
2022-01-06 09:30:23552

5.3.1.1 本征缺陷∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

5.3.1.1本征缺陷5.3.1SiC中的主要深能級缺陷5.3SiC中的點缺陷第5章碳化硅的缺陷及表征技術(shù)《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內(nèi)容:5.2.3擴展缺陷對SiC器件性能
2022-01-06 09:27:16693

6.4.2.3 p型SiC的歐姆接觸∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.4.2.3p型SiC的歐姆接觸6.4.2n型和p型SiC的歐姆接觸6.4金屬化第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內(nèi)容:6.4.2.2n型SiC的歐姆接觸
2022-01-26 10:08:16636

5.2.3 擴展缺陷對SiC器件性能的影響∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》

5.2.3擴展缺陷對SiC器件性能的影響5.2SiC的擴展缺陷第5章碳化硅的缺陷及表征技術(shù)《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內(nèi)容:5.2.1SiC主要的擴展缺陷&5.2.2
2022-01-06 09:25:55621

科友半導體突破8英寸SiC量產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)

科友半導體突破了8英寸SiC量產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù),在晶體尺寸、厚度、缺陷控制、生長速率、制備成本、及裝備穩(wěn)定性等方面取得可喜成績。2023年4月,科友半導體8英寸SiC中試線正式貫通并進入中試線生產(chǎn),打破了國際在寬禁帶半導體關(guān)鍵材料的限制和封鎖。
2023-06-25 14:47:29342

碳化硅技術(shù)壁壘是什么?碳化硅技術(shù)壁壘有哪些?

SiC 生產(chǎn)過程分為 SiC 單晶生長、外延層生長及器件制造三大步驟,對應的是產(chǎn)業(yè)鏈襯底、外延、器件與模組四大環(huán)節(jié)。 主流制造襯底的方式首先以物理氣相升華法,在高溫真空環(huán)境下將粉料升華,通過溫場的控制在籽晶表面生 長出碳化硅晶體
2023-08-04 11:32:13398

SiC材料及器件介紹

SiC,作為發(fā)展最成熟的寬禁帶半導體材料之一,具有禁帶寬度寬、臨界擊穿電場高、熱導率高、電子飽和漂移速度高及抗輻射能力強等特點。
2023-09-28 16:54:261287

利用碳化鉭的坩堝中物理氣相傳輸生長SiC和AlN晶體

Crystals Group Ltd.執(zhí)行總裁Yuri MAKAROV做了“利用碳化鉭的坩堝中物理氣相傳輸生長SiC和AlN晶體”的主題報告。
2023-12-09 14:47:15567

半導體行業(yè)之晶體生長和硅片準備(一)

在接下來的一個章節(jié)里面,我們將主要介紹用砂子制備半導體級硅的方法,以及后續(xù)如何將其轉(zhuǎn)化為晶體和晶圓片(材料制備階段),以及如何來生產(chǎn)拋光晶圓的過程(晶體生長和晶圓制備)。
2023-12-18 09:30:21217

半導體行業(yè)之晶體生長和硅片準備(四)

浮區(qū)晶體生長是本文所解釋的幾個過程之一,這項關(guān)鍵性的技術(shù)是在歷史早期發(fā)展起來的技術(shù),至今仍用于特殊用途的需求。
2023-12-28 09:12:07153

半導體行業(yè)之晶體生長和硅片準備(五)

晶體生長的過程中,由于某些條件的引入將會導致結(jié)構(gòu)缺陷的生成。
2024-01-05 09:12:33123

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