中芯國際通過港交所發(fā)布公告，宣布公司已于2021年2月1日，就購買用于生產(chǎn)晶圓的阿斯麥（ASML）產(chǎn)品與阿斯麥集團(tuán)簽訂購買單，根據(jù)購買的ASML產(chǎn)品定價(jià)計(jì)算，該協(xié)議購買阿斯麥產(chǎn)品的總代價(jià)約為12億美元。

根據(jù)該協(xié)議，中芯國際將先行向ASML支持30%的預(yù)付款，余款將于產(chǎn)品交付時(shí)支付。

從采購金額來看，12億美金夠買十多臺(tái)先進(jìn)的DUV光刻機(jī)，即便是最貴的1.2億美金一臺(tái)的EUV光刻機(jī)，也能賣個(gè)10臺(tái)。

根據(jù)公告顯示，ASML批量采購協(xié)議的期限從原來的2018年1月1日至2020年12月31日延長至從2018年1月1日至2021年12月31日。中芯國際根據(jù)批量采購協(xié)議已于2020年3月16日至2021年3月2日的12個(gè)月期間就購買用于生產(chǎn)晶圓的ASML產(chǎn)品與ASML集團(tuán)簽訂購買單。

也就是說，此次的協(xié)議是此前采購協(xié)議（2018年1月1日至2020年12月31日）的延長，延長至2021年12月31日。換句話來說就是，這是一個(gè)覆蓋了2018-2021年三年間的采購協(xié)議，并且公告顯示，在2020年3月16日至2021年3月2日的12個(gè)月期間，已經(jīng)在執(zhí)行購買協(xié)議。 所以，這個(gè)12億美元的采購并不是全新的采購訂單，大概率之前已經(jīng)完成了部分的采購。

而且，可能這個(gè)采購里還包含了之前2018年采購的那臺(tái)至今未交付的EUV光刻機(jī)的訂單的重新延長。

早在2018年5月，中芯國際就向ASML訂購了一臺(tái)最新型的EUV光刻機(jī)，原計(jì)劃在2019年初交付。但是由于美國方面的阻撓，ASML一直未能收到荷蘭政府頒發(fā)新的許可證，這也導(dǎo)致了ASML一直無法向中芯國際交付EUV光刻機(jī)。

不過由于中芯國際訂購的EUV光刻機(jī)遲遲無法拿到許可，該訂單也有可能已經(jīng)取消或替換成了等價(jià)的DUV光刻機(jī)，畢竟在美國的阻撓下，今年年內(nèi)可能還是難以實(shí)現(xiàn)EUV光刻機(jī)的交付。

此前，ASML的CFO在財(cái)報(bào)會(huì)議的視頻采訪中表示：如果寬泛地理解相關(guān)規(guī)則對(duì)AMSL的整體意義，ASML將能夠從荷蘭向中國客戶（包括中芯國際）提供DUV光刻系統(tǒng)，且無需出口許可證。不過，如果涉及直接從美國運(yùn)往此類客戶的零件或系統(tǒng)，ASML則需要為此申請(qǐng)出口許可證。

即便中芯國際未來能夠拿到EUV光刻機(jī)，由于美國的禁令，限制對(duì)于中芯國際供應(yīng)10nm及以下工藝所需的美系半導(dǎo)體設(shè)備，這也使得中芯難以對(duì)7nm以下制程實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)突破，畢竟半導(dǎo)體生產(chǎn)并不只是靠光刻機(jī)就行的。未來，中芯國際可能還是要依靠與國產(chǎn)及非美系設(shè)備廠商在先進(jìn)制程上的協(xié)作來突破。

編輯：hfy