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標(biāo)簽 > mems器件
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MEMS器件以硅為主要材料。硅的強(qiáng)度、硬度和楊氏模量與鐵相當(dāng)。密度類似于鋁,熱傳導(dǎo)率接近銅和鎢,因此MEMS器件機(jī)械電氣性能優(yōu)良。它集中了當(dāng)今科學(xué)技術(shù)發(fā)...
2019-02-12 標(biāo)簽:mems器件 1.3萬 0
陽極鍵合技術(shù)廣泛應(yīng)用于MEMS器件的制備過程中
1969年,美國的Wallis和Pomerantz兩位研究人員首次提出了陽極鍵合技術(shù),其鍵合方法如圖1所示。陽極鍵合目前在硅片與玻璃鍵合中得到了較為廣泛...
2020-06-17 標(biāo)簽:壓力傳感器微機(jī)電系統(tǒng)MEMS器件 1.3萬 0
PZT壓電薄膜MEMS器件聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室落戶蘇州
該壓電MEMS實(shí)驗(yàn)室將有利于壯大蘇州MEMS產(chǎn)業(yè)實(shí)力,也有利于加快中國MEMS企業(yè)創(chuàng)新步伐。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)使用半導(dǎo)體制造工藝來生產(chǎn)尺寸范圍從小于一微米到幾毫米的小型化機(jī)械和機(jī)電元件。MEMS設(shè)備可以從沒有運(yùn)動元件的相對簡單的結(jié)構(gòu)到具...
公司擁有國際先進(jìn)水平的6英寸MEMS工藝線和世界領(lǐng)先的產(chǎn)品測試標(biāo)定設(shè)備,是國家高新技術(shù)企業(yè)、科技部重大科學(xué)儀器專項(xiàng)資助單位。
IMT日前正式宣布:公司現(xiàn)已可提供8英寸(200mm)晶圓微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)工藝加工服務(wù),同時公司還可以為MEMS行業(yè)發(fā)展提供空前豐富的其他資源...
具有懸浮結(jié)構(gòu)的MEMS器件表面微加工方法
近年來,微機(jī)電(MEMS)開關(guān)因其高線性度、低插損、低能耗、高開關(guān)比以及可集成性等優(yōu)異性能獲得了廣泛關(guān)注。MEMS開關(guān)可以被應(yīng)用于自動化測試設(shè)備、寬帶儀...
設(shè)計和開發(fā)MEMS器件涉及大量的數(shù)學(xué)仿真。在制造過程中進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,不僅成本昂貴且非常耗時。為了精準(zhǔn)地預(yù)測系統(tǒng)響應(yīng),需要驗(yàn)證仿真模型。但是,當(dāng)需要用模型...
行業(yè)迎來MEMS器件熱 細(xì)數(shù)ADI近年MEMS新品發(fā)布
近年來,隨著消費(fèi)電子領(lǐng)域的快速發(fā)展,MEMS器件正式進(jìn)入了人們的視線。面對當(dāng)前的MEMS器件熱,電子發(fā)燒友網(wǎng)在這里先為大家整理了ADI近年來發(fā)布的MEM...
MEMS器件發(fā)展勢不可擋:未來MEMS市場將持續(xù)增長
隨著便攜消費(fèi)電子的走熱,MEMS器件得到了爆發(fā)式的增長。短短兩年時間MEMS器件成為消費(fèi)電子領(lǐng)域炙手可熱的器件,近幾年都會保持高速增長趨勢?,F(xiàn)在讓我們一...
2013-01-23 標(biāo)簽:MEMS器件MEMS麥克風(fēng)MEMS磁力計 2536 0
MEMS器件的低成本微慣性導(dǎo)航系統(tǒng)設(shè)計
設(shè)計了一款基于MEMS陀螺和MEMS加速度計的低成本微慣性導(dǎo)航系統(tǒng)。采用“四元數(shù)”法進(jìn)行姿態(tài)計算,通過比力變換、積分
電子發(fā)燒友網(wǎng)訊【編譯/Triquinne】: MEMS器件無處不在。他們幾乎已經(jīng)滲透到我們生活的每一個方面,永遠(yuǎn)地改變了我們和數(shù)字環(huán)境的交互關(guān)系。不...
MEMS器件是封測廠商發(fā)展的助跑器 傳感器產(chǎn)業(yè)面臨兩大主要挑戰(zhàn)
據(jù)市場數(shù)據(jù)統(tǒng)計未來五年OSAT市場將持續(xù)保持增長,這主要是受益于MEMS巨大的出貨量,MEMS器件有望成為OSAT廠商的下一個增長點(diǎn),同時傳感器產(chǎn)業(yè)都將...
泛林集團(tuán)宣布推出全球首款面向量產(chǎn)的脈沖激光沉積(PLD)機(jī)臺
據(jù)麥姆斯咨詢報道,泛林集團(tuán)(Lam Research,納斯達(dá)克股票代碼:LRCX)近日宣布推出全球首款面向量產(chǎn)的脈沖激光沉積(PLD)機(jī)臺,以賦能基于M...
通過將微型機(jī)械和電子組件集成于單個襯底,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)改變了眾多行業(yè),促進(jìn)了高靈敏度和高效能器件的構(gòu)建。
2024-02-21 標(biāo)簽:晶圓微機(jī)電系統(tǒng)MEMS器件 1415 0
宙訊科技憑借射頻MEMS器件榮獲天津大學(xué)“海棠杯”校友創(chuàng)新一等獎
創(chuàng)新創(chuàng)業(yè),天大擔(dān)當(dāng)。9月30日,第五屆天津大學(xué)“海棠杯”校友創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽全國總決賽圓滿落幕,200余人于天津大學(xué)(衛(wèi)津路校區(qū))大學(xué)生活動中心共襄盛典,共慶雙節(jié)。
MEMS器件和物聯(lián)網(wǎng)結(jié)合將可以有效地滿足許多物聯(lián)網(wǎng)的應(yīng)用要求
MEMS器件的行為模式通常與尺寸較大的器件類似,但有一些明顯的差異。能夠?qū)⒋罅縈EMS器件裝進(jìn)智能手機(jī)等尺寸稍大的設(shè)備中,絕對是一個很關(guān)鍵的差異化優(yōu)勢。...
2019-05-17 標(biāo)簽:物聯(lián)網(wǎng)mems器件 971 0
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